| Ementa/Descrição: |
Processos de microfabricação em tecnologias CMOS, BJT, etc.; Aplicações de tecnologias de microfabricação; Descrição de etapas de processos de microfabricação (limpeza de amostras, oxidação, fotogravação, difusão e implantação de íons, deposição e crescimento de filmes, corrosão úmida e seca, etc.); Caracterização de materiais e de etapas de processo (medidas de espessura de lâminas, tipo de condutividade de semicondutores, resistência de folha e de resistividade, medidas elétricas em semicondutores, etc.); Técnicas de caracterização para microeletrônica (AES - Auger Electron Spectroscopy, SEM - Scanning Electron Microscopy, SIMS - Second Ion Mass Spectroscopy, TEM - Transmission Electron Microscopy, fotoluminescência, espectroscopia de infravermelho, elipsometria, interferometria, microscopia óptica, etc.) |
